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    MarSurf XC 20

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    MarSurf XC 20

  • 所属分类:轮廓仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/03/05
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  • 详细介绍
    MarSurf XC 20技术特征:PCV 200 驱动器具有200 mm (7.87in) 的测量长度及50 mm(1.97 in) 的行程, 与 MarSurf XC 2 比较提供更多的功能
    包括:
         测量段:显示的测量段无数量限制, 每个测量段在记录中都彼此独立。
         使用双测头:进行测量利用双测头可以对反向轮廓进行测量, 例如既要求测量孔内也要求测量外部参数的情况。在 XC 20 软件中, 两个相对轮廓都可以按标准进行评定, 及对两个轮廓相关的参数进行计算。
    技术数据
    驱动单元  PCV 200 / LD 120
    扫瞄长度 (X方向) 0.2 mm 至 200 mm (0.0079 in 至 7.87 in)
    测量范围 (Z方向) 50 mm (1.97 in) , 适用于350 mm (13.78 in) 测臂
                     25 mm (0.98 in) , 适用于 175 mm (6.89 in) 测臂
    测量系统 (X方向) 高精度光栅测量系统(出厂经激光干涉仪校准)
    测量系统 (Z方向) 电感传感器*, 高精度, 高线性度
    测针分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 适用于350 mm (13.78 in) 测臂
                       0.19 μm (7.5 μin), 适用于175 mm (6.89 in) 测臂测
    测点距离 (X方向) 1.0 μm 至 8.0 μm (40 μin 至 315 μin)
    测量系统分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
    行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程内)
    测力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向下和向上
    (可在 MarSurf XC 20 设定)
    行程升角 在光滑表面, 取决于表面倾斜程度:
    向下降低时不超过 88°, 向上上升时不超过77°

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